常见问题解答

SEMI S2认证中的“机械手”，你会区分吗？

欣项科技 2022-07-19

在做SEMI认证时，面对不同的半导体设备，我们常常遇到各种 “机械手”，你知道吗，不同的机械手应用于不同的设备，在标准中的定义及要求也是不同的。

根据SEMI S2标准，自动物料搬运设备，也就是很多人常说的“机械手”，分为以下三种：
• 衬底机械手substrate handlers;
• 工业机器人及工业机器人系统industrial robots and industrial robot systems;
• 无人搬运车unmanned transport vehicles (UTVs)。

1. 衬底机械手一般一次搬运单一晶片，以其小负载能力而与工业机器人区别开来。常见的有真空机械手，EFEM传片机械手等。在认证时应该依据危害分析的结果，导入人员的安全保护。危害分析应该包括其尺寸、设备容量、速度及操作空间等。

2. 工业机器人及工业机器人系统 — 可自动控制、重复编程的多功能机械手，可在三个或更多轴上编程，并且可以在工业自动化应用中固定在位或移动。与Substrate handler的差别是，可以一次搬运多片晶圆，或片盒等。工业机器人及工业机器人系统应该符合适合的国家/国际标准(例如，ANSI/RIA R15.06, ISO 10218-1，CEN EN 775)。如果因为机器人在半导体设备上的应用与这些标准之间有差异，可依照其风险单独评估这些差异。

3. 无人搬运车 (UTVs)

UTVs分两种基本型：
(1) 地面运送型(包括轨道式及无轨式) UTV，自动在地板上穿梭到指定地点上货及卸货。
(2) 空间行走型 UTV，不依附在地板(例如在天花板下方的空间)自动穿梭至指定地点上货及卸货。
UTVs参考SEMI S17标准进行认证。在评估系统是否符合标准时，应考量 UTV 系统供应商提供的整套设备，包括未直接安裝在设备主体上的部分，例如轨道、控制盘、电源配电盘，以及其他操作无人搬运车所需的各种设施。

欣项科技提醒，SEMI认证并非简单的机械测试及文件，针对不同的设备以及部件，都会有不同的要求，这需要工程师对设备及标准有多年的经验才能做出准确的判断，专业才能成就品质。

SEMI S2认证中的“机械手”，你会区分吗？

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